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 開(kāi)發(fā)三軸掃描振鏡是由于輸出鏡頭的成本和大小限制以及二軸掃描振鏡的光束孔徑限制，這種限制有礙于在中等大小掃描范圍內產(chǎn)生較小光斑的功能。三軸掃描振鏡滿(mǎn)足客戶(hù)對于小光斑大尺寸加工范圍的應用要求，并允許用戶(hù)使用相同掃描振鏡改變工作距離、范圍和光斑大小。三軸技術(shù)也適用于針對移動(dòng)目標的動(dòng)態(tài)應用，因為在三維應用中，相應的激光設備能夠加工非平面部件或不光滑表面以及高功率產(chǎn)品?，F在，這些解決方案用于頻率 nd:yag、二極管和 co2 激光器。

功能描述

 在三軸掃描振鏡工作時(shí)，激光束首先進(jìn)入移動(dòng)鏡頭。透過(guò)移動(dòng)鏡頭之后，光束快速分散，直到進(jìn)入一個(gè)或兩個(gè)聚焦鏡頭?，F在會(huì )聚的光束穿過(guò)鏡頭，并由一組 x 和 y 鏡片(這些鏡片由振鏡式掃描器移動(dòng))引導。x 和 y 鏡片呈直角排列，向下引導光束，覆蓋工作范圍的長(cháng)和寬。

 在沒(méi)有焦點(diǎn)校正的掃描振鏡中，向任一軸向移動(dòng)工作范圍中心聚焦的激光光斑時(shí)，都會(huì )劃出一個(gè)弧形，在工作范圍上方產(chǎn)生一個(gè)聚焦點(diǎn)的球面。在遠離工作范圍中心的位置，激光光束沒(méi)有聚焦。這是因為當掃描器將光束向遠離工作范圍中心的方向引導時(shí)，從鏡頭到工件的距離增加了。